平面平晶是用于以光波干涉法测量块规，以及检验块规、量规、零件密封面测量仪器及测量工具量面的研合性和平面度的工具。平面平晶分为单、双工作面平晶。按照用途也可分为标准平晶和工作平晶两大类。工作平晶分为1，2级，标准平晶分为1，2级。其外形见图

乾曜光学提供普通精度的平面标准镜和超精密球面标准镜，均包含平面透射标准镜和平面反射标准镜。有效口径有150mm（6英寸），100mm (4英寸），60mm，30mm。150mm和100mm口径镜头与Zygo通用，60mm和30mm口径镜头与富士通用。