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衰减膜
◇测量对红光高反射率样品时使用, 放置于透射标准镜和样品之间,可 以获得良好的干涉条纹对比度。
◇通光口径有101.6mm(4英寸) 和152.4mm(6英寸)。
◇透过波前PV<λ/10@632.8nm。
◇红光(λ=632.8nm)以10°入射, 衰减膜的透过率为20±4%。
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卧式干涉仪球面测量系统
包含五维调整架,导轨系统(2根),和光栅尺(测量曲率)。
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五维同轴调整架
五维调整架附带可调同轴透镜座,最大夹持Φ160mm。
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五维标准镜调整架
用于焦距测量,透过波前和光学材料均匀性测量时安装平面反射标准镜或球面反射标准镜。
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五维调整架,110mm
附带可调同轴透镜座, 最大夹持Φ110mm
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标准镜二维调整架
用于安装标准镜
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平面样品测试调整架
用于安装标准镜
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多轴位移台
用于异形平面元件检验台。
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精密组合位移台
用于异形平面元件检验台。