立式激光平面干涉仪为正立式结构，通光口径有200mm,150mm和100mm三种，适合平面元件的快速测试。

        G200M,G150M和G100M专为计量和科研需求设计，适用于计量机构检定和校准光学平晶。其集高性能、长寿命氦氖激光器，1-6倍图像放大功能，高精度的成像系统和图像采集系统，精密平面标准镜等一系列高精技术，通过优化光学系统和机械系统结构，实现高精密平面光学元件的测量。

       G200S，G150S和G100S为简化版本，适合光学车间的现场检验。

      主要用途：平面类光学元件(包括玻璃、金属、陶瓷等)表面面形、光学平行度和材料均匀性的测试；准直系统波前质量的测试。