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Sirius干涉条纹分析软件

  



规格参数表:

型号
移相(Phase)
分析算法
移相分析法
分析像素
640*480可选1024*1024
重复性
PV:0.01λ   RMS:0.003λ
分析项目
PV,RMS,Power, Astig,Coma, Sph, Irregularity ,Zernike多项式及Seidel像差,MTF,PSF等
质量控制
PV,RMS,Irregularity,Astig,Coma等
数据输入
图像( .bmp)
数据文件 (ASC II)
数据输出
ASC II,  .bmp, .xyz

 

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