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平面平晶和标准平晶

平面平晶是用于以光波干涉法测量块规,以及检验块规、量规、零件密封面测量仪器及测量工具量面的研合性和平面度的工具。平面平晶分为单、双工作面平晶。按照用途也可分为标准平晶和工作平晶两大类。工作平晶分为1,2级,标准平晶分为1,2级。其外形见图



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乾曜光学提供全系列符合国家计量检定规程JJG28-2000的工作平晶和标准平晶。
用途:适用于光学加工厂、厂矿企业计量室、精密加工车间、阀门密封面现场检测使用,也适用于高等院校、科学研究等单位做平面度等检测。

 
 
 

表1 平面平晶精度表

 
       项目
规格(mm)
有效直径
d
(mm)
平面度(μm)
Degree of Planeness(μm)
1级
1级
2级
2级
d范围内
(2/3)d范围内
d范围内
(2/3)d范围内
30
25
0.03
-
0.1
0.05
45
39
0.03
-
0.1
0.05
60
54
0.03
-
0.1
0.05
80
72
0.05
0.03
0.1
0.05
100
92
0.05
0.03
0.1
0.05
150
140
0.05
0.03
0.1
0.05
200
188
0.08
0.05
0.12
0.06
注:(2/3)d指直径为有效直径d的三分之二,且在平晶的中心部分区域
 
 

 表2平面平晶的标准规格

 
          尺寸
平晶规格
D
H
t
b
30
30±0.8
10±1.35
10+0.4
6~8
45
45±0.8
15±1.35
10+0.4
10
60
60±0.95
20±1.65
10+0.4
10
80
80±0.95
20±1.65
1.50+0.4
10
100
100±1.1
25±1.65
1.50+0.4
10
150
150±1.25
30±1.65
20+0.4
10
200
200±1.45
40±1.95
30+0.4
10

 

 

 标准平晶


规格尺寸为150mm的1级平晶可检定为标准平晶。1等标准平晶测量的扩展不确定度U(k=3或p=0.99)不大于0.010μm,有效直径内的平面度不大于0.03μm,任意两个截面平面度之差不大于0.015μm,(2/3)d内的平面度不大于0.015μm;2等标准平晶测量的不确定度U(k=3或p=0.99)不大于0.020μm,有效直径内的平面度不大于0.05μm,任意两个截面平面度之差不大于0.03μm,(2/3)d内的平面度不大于0.03μm。有效直径内的平面度不大于0.03μm,任意两个截面平面度之差不大于0.015μm,(2/3)d内的平面度应与总偏差方向一致,两个截面的偏差方向也应一致。