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大口径激光干涉仪

       大口径激光干涉仪有效通光口径有600mm, 450mm和300mm,均是双路测量系统:一路是100mm (4英寸)或150mm(6英寸)小口径测量系统,另一路是大口径平面测量系统。小口径系统可以进行平面元件和球面元件的测量。大口径平面测量系统从100mm口径扩束到600mm,450mm或300mm,大口径标配平面透过标准镜和平面反射标准镜。



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