大口径激光干涉仪有效通光口径有600mm, 450mm和300mm,均是双路测量系统：一路是100mm （4英寸）或150mm（6英寸）小口径测量系统，另一路是大口径平面测量系统。小口径系统可以进行平面元件和球面元件的测量。大口径平面测量系统从100mm口径扩束到600mm，450mm或300mm,大口径标配平面透过标准镜和平面反射标准镜。