仪器规格参数表
产品型号
|
G450M
|
G450S
|
G300M
|
G300S
|
测量方式
|
菲索干涉原理
|
菲索干涉原理
|
菲索干涉原理
|
菲索干涉原理
|
有效通光口径
|
100mm和450mm
|
450mm
|
100mm和300mm
|
300mm
|
标准镜材料
|
熔石英
|
熔石英
|
熔石英
|
熔石英
|
光源
|
波长调谐激光(632.8nm),配合波长移相干涉条纹分析软件
氦氖激光(632.8nm)不选配干涉条纹分析软件 |
|||
连续变焦倍数
|
1-6.7倍
|
固定倍率
|
1-6.7倍
|
固定倍率
|
光路切换
|
对准(十字叉丝)与测试(干涉场)模式电控切换
|
|||
显示方式
|
计算机或独立监视器实时显示
|
|||
小口径平面标准镜
|
PV:优于λ/20
|
|
PV:优于λ/20
|
|
小口径球面标准镜
|
PV:优于λ/10和λ/20
|
|
PV:优于λ/10和λ/20
|
|
大口径平面透过标准镜
|
PV:优于λ/10
|
PV:优于λ/10
|
PV:优于λ/15
|
PV:优于λ/15
|
大口径平面反射标准镜
|
PV:优于λ/10
|
PV:优于λ/10
|
PV:优于λ/15
|
PV:优于λ/15
|
大口径综合测量精度
|
PV:优于λ/10
|
PV:优于λ/10
|
PV:优于λ/10
|
PV:优于λ/10
|
衰减过滤片
|
选配
|
|||
电源
|
AC100-240V 50/60Hz
|
|||
推荐气浮平台尺寸
(长X宽) |
3.5X1.2米
|
3.5X1.2米
|
2.5X1.2米
|
2.5X1.2米
|