G5U-PH 激光干涉仪_上海乾曜光学科技有限公司

G5U-PH 激光干涉仪

随着手机行业的发展，3D屏及全面屏的摄像孔开始无限靠近弧边，相应的，透过波前的PV值也远大于之前的2D及2.5D屏。尤其是摄像孔边缘区域（贴近弧边）的干涉条纹会非常密集，超出上一代产品G10U-PH激光干涉仪（及行业内主流的与G10相当的产品）的分辨极限，导致无法准确测量。

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一、仪器规格参数

G5U-PH激光干涉仪为3D屏及全面屏摄像孔检测而定制，可以满足条纹非常密集、超大像差（PV值非常大）状况下的准确测量。仪器采用进口He-Ne激光器，并标配气浮减震平台，在环境恶劣的生产现场亦可以保证稳定、可靠的测试。

仪器规格参数表

硬件部分：

产品型号	G5U-PH
产品名称	5mm正立式激光干涉仪
测试口径	Φ5mm
辅助对准口径	Φ30mm
标准镜面形精度	λ/20
光源	进口He-Ne激光器（632.8nm)
光路切换	辅助观察（Φ30mm大视场）与测试（Φ5mm小视场）模式电控切换
电源	AC220V50HZ
标配配件	气浮减震平台

软件部分：

软件名称	移相算法（简称PH）
分析项目	透过波前PV值、平行度Tilt值、ttv等
测试重复性	PV：0.01λ RMS:0.003λ
测试允许误差	PV<1λ时 PV：0.05λ Tilt：0.2fr（零场调整为1根条纹） 1λ<PV<2λ时 PV：0.1λ Tilt：0.5fr（零场调整为1根条纹） 2λ<PV<3λ时 PV：0.2λ Tilt：1fr（零场调整为1根条纹）
测试时间	1.5秒

二、仪器特点

1、可满足超大像差的准确检测

G5U-PH便针对该特殊需求而设计，可以对超大像差实现准确分辨及测试。

相同摄像孔在G5U及G10U干涉仪图像对比

最大可准确测量的像差，G5U-PH相对于G10U-PH的升级见下表：

注：PV（背景零场测试值）为背景调整为零条纹时，直接测量所得的PV值。

2、空腔调整零场精度高

在测试摄像小孔区域的平行度时，需要预先把空腔调整至接近零条纹。当测试口径为Φ5mm时，由于观察视场非常小，调整零条纹的精度较低。为此，G5U-PH干涉仪引入辅助观察模式，可以在Φ30mm的大视场下调节空腔的零场，保证零场调节精度。

3、光源为进口He-Ne激光器（波长632.8nm）

He-Ne激光器相比半导体激光相比有如下优点：相干性稳定、优良，干涉图的对比度及清晰度更高，且寿命很长（一般可达到2万小时以上）。半导体激光器随温度变化产生的温飘会使干涉条纹的对比度、清晰度周期性变差，对数字化测量有很大影响；且寿命较短，易被静电损伤。

4、标配气浮减震平台

仪器标配气浮减震平台，即使在环境恶劣的生产现场亦可以保证稳定、可靠的测试。

5、后续可升级自动化测试方案

仪器可通过串口与自动化设备进行通讯。且进口He-Ne激光器与气浮减震平台的使用，使仪器可以在无人干预的情况下，保证稳定、可靠的测试，后续可升级自动化测试。