在有些应用，根据样品的形状、装夹方法、或者模拟样品使用状态下测量，正立式干涉仪结构相比卧式和倒立式更有优势。例如半球形球罩面形和曲率半径的测量，正立式结构能够实现盘上测量以及下盘后的无夹持应力测量，而卧式结构无法夹持半球，倒立式结构测量盘上时需要支撑样品和磨盘的重力，易造成样品变形。