G100、G150和G200激光干涉仪的有效口径分别为101.6mm（4英寸）、152.4mm（6英寸）和200mm。菲索型的共光路设计结合Sirius抗振移相干涉条纹分析软件实现高精度的面形和波前测量。可扩展成立式平面和倒立式球面等多种结构形式的干涉仪。