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G100/G150/G200 立式激光平面干涉仪
立式激光平面干涉仪为正立式结构,通光口径有200mm,150mm和100mm三种,正立式结构兼容了平面元件的平放测量、拼盘测量和高精度测量。立式结构比卧式测量效率更高。