2024年9月25日-27日，上海乾曜光学科技有限公司诚邀您参加 CSEAC 2024(第十二届半导体设备与核心部件展示会)，我们在A1-19展台等您！

此次展会，乾曜光学将展出可用于测量半导体晶圆的“素绘”大口径立式激光干涉仪。该干涉仪采用全新的光学设计，提高了系统传函。平面度测量范围达到150μm,帮助半导体等领域对平面度和翘曲度等的在线测量和控制。

“素绘”大口径激光干涉仪

关于乾曜

上海乾曜光学科技有限公司（Shanghai Shineoptics Scientific Co., Ltd.）成立于2009年6月，坐落于上海市嘉定区。为高新技术企业、上海市科技小巨人（培育）企业、上海市“专精特新”中小企业。乾曜光学专注于光学测量仪器的研制，为客户提供中高端激光干涉仪及相关定制产品。立志通过不断学习创新，成为优秀的精密仪器制造商。

乾曜光学激光干涉仪口径从5mm到600mm，波长范围从紫外266nm到近红外1550nm，测量模式有抗振机械移相、抗振波长移相和瞬态载波。乾曜光学“谷雨”牌球面拼接干涉仪，能够测量口径达300mm的球面凸透镜，为国产首创产品。

乾曜光学激光干涉仪广泛应用于精密光学镜头和光学仪器的光学波像差测量、晶圆和真空吸盘的平面度测量。

随着公司不断成长，目前具有年产700台干涉仪的能力，累计销售超过3000台，结合完善的销售渠道和售后服务，服务全国的科研院所，大学和企业，并销往日本，韩国、美国和欧洲等地。