超精密球面反射标准镜的表面面形经过精密测量，可以认为是绝对球面，凹凸面均可选择。 球面反射标准镜的数据文件储存为Zygo干涉仪的标准数据格式，在Zygo干涉仪的数据中能够移 除标准球面的误差，这样测试精度能够达到PV<λ/30@632.8nm，定制产品可达到PV<λ/50@ 632.8nm.