"素绘“600/450/300mm激光干涉仪，有效口径有600mm，450mm和305mm，均是通过扩束形成的双路测量系统：小路可以选择100mm（4英寸）或150mm（6英寸）口径主机，通过转向器在干涉仪外扩束到大口径平面测量系统。小路可以进行平面和球面的测量。大路标配平面透过标准镜、平面反射标准镜和样品调整架。