由于激光良好的相干性，平行平面光学元件测量时，光学元件前表面、后表面均会与干涉仪参考镜产生干涉条纹，再加上前后表面之间的自身干涉条纹，会有三套干涉条纹混叠在一起。传统的测量方式均无法直接分析这样的干涉图。通常在样品背面涂抹一些油脂（类似凡士林），油脂的折射率接近1.5，与多数光学玻璃的折射率类似，可起到将背面打毛的效果，消除背面反射带来的干扰条纹。然而这会带来污染样品表面的风险，且对于高折射率光学玻璃，涂抹油脂的方法是无效的。

        多表面测量技术技术（MST）即是解决该难题的完美方案。多表面测量技术依托于波长调谐激光器，由于波长移相的特征是相移量与腔长相关，平行平面光学元件的每一组干涉条纹，均有一个与腔长相关的独特频率。乾曜光学的多表面测量算法通过分析一次采样数据，能独立地分离表征每个平行表面的形貌。也就是说，通过一次测量，直接得到光学镜片前表面、后表面、光学厚度变化三个特征数值。