在有图形晶圆缺陷检测和无图形晶圆表面缺陷检测设备中，物镜是技术要求最高最核心的部件，物镜用于光刻对准和检测以确保图案的精确复制。物镜具有高数值孔径NA、短波长光源、高透射率和低畸变和多光谱成像等特点。数值孔径（NA）越高，物镜的分辨率越高，可以检测更小的缺陷，可以收集更多的散射光，提高检测的灵敏度；使用短波长光源（如深紫外光266nm，甚至更短的193nm），可以进一步提高分辨率和精度；结合不同波长的光源，进行多光谱成像，以识别不同类型的缺陷。