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大口径立式激光干涉仪

       严格情况下,要求按照元件的使用状态测量,例如很多窗口、反射镜和半导体晶圆等。G400U和G300U的通光口径分别为400mm和300mm。为镜头上置、光路向下的结构,适合对样品的平放测量。



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