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卧式干涉仪球面测量系统
◇包含五维调整架,导轨系统, 和光栅尺(测量曲率)。 ◇五维调整架附带可调同轴透镜座, 最大夹持Φ160mm。 ◇X,Y,Z精调行程均为25mm。 ◇±3°倾斜调整。