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G30HD激光干涉仪

 30mm高分辨率激光干涉仪(型号G30HD)为多摄像孔检测而定制,具备大视场、高分辨率的性能。可以同时完成双孔、三孔或四孔的透过波前检测



 一、仪器规格参数

30mm高分辨率激光干涉仪(型号G30HD)为多摄像孔检测而定制,具备大视场、高分辨率的性能。可以同时完成双孔、三孔或四孔的透过波前检测。

仪器规格参数表

硬件部分:

产品型号

G30HD

产品名称

30mm高分辨率激光干涉仪

测试口径

30mm*25mm

标准镜面形精度

λ/20

光源

进口He-Ne激光器(632.8nm)

可同步测量孔数

4孔

电源

AC220V50HZ

标配配件

气浮减震平台

软件部分:

软件名称

移相算法(简称PH)

分析项目

透过波前PV值、power值、平行度Tilt值、ttv值、条纹数等

测试重复性

PV:0.01λ   RMS:0.003λ

测试允许误差

PV<1λ时    PV:0.05λ   Tilt:0.2fr(零场调整为1根条纹)

<PV<2λ时  PV:0.1λ   Tilt:0.5fr(零场调整为1根条纹)

测试时间

1.5

二、仪器特点

1、可同步测量四摄像孔

双摄、三摄甚至四摄逐渐成为手机摄像的标配,传统的小视场干涉仪每次只能测量一个摄像孔,效率低下;而大视场干涉仪虽然可以显示多个摄像孔,但分辨率不足,不能胜任大像差摄像孔的测量。

G30HD便针对该特殊需求而设计,可以同时满足最多四摄像孔的同步测量。

 

        仪器可同步测量四摄像孔的PV、power、条纹数等数值,并同步给出OK/NG的总体评价:

2、可满足大像差摄像孔的测量

 在具备大视场的同时,仪器具备足够高的分辨率。下表为G30HD与G10可准确测量的像差对比:

 

 

G30HD

G10U-PH

3mm口径(前置摄像孔典型值)

条纹数

30fr

20fr

PV(背景零场测试值)

1.5λ

1λ

6mm口径(后置摄像孔典型值)

条纹数

60fr

40fr

PV(背景零场测试值)

3λ

2λ

注:PV(背景零场测试值)为背景调整为零条纹时,直接测量所得的PV值。

G30HD足够胜任后置摄像孔与2.5D前置摄像孔的测量。

 

3、光源为进口He-Ne激光器(波长632.8nm)

He-Ne激光器相比半导体激光相比有如下优点:相干性稳定、优良,干涉图的对比度及清晰度更高,且寿命很长(一般可达到2万小时以上)。半导体激光器随温度变化产生的温飘会使干涉条纹的对比度、清晰度周期性变差,对数字化测量有很大影响;且寿命较短,易被静电损伤。

 

4、标配气浮减震平台

仪器标配气浮减震平台,即使在环境恶劣的生产现场亦可以保证稳定、可靠的测试。

 

5、后续可升级自动化测试方案

仪器可通过串口与自动化设备进行通讯。且进口He-Ne激光器与气浮减震平台的使用,使仪器可以在无人干预的情况下,保证稳定、可靠的测试,后续可升级自动化测试。