一、仪器规格参数
30mm高分辨率激光干涉仪(型号G30HD)为多摄像孔检测而定制,具备大视场、高分辨率的性能。可以同时完成双孔、三孔或四孔的透过波前检测。
仪器规格参数表
硬件部分:
产品型号 |
G30HD |
产品名称 |
30mm高分辨率激光干涉仪 |
测试口径 |
30mm*25mm |
标准镜面形精度 |
λ/20 |
光源 |
进口He-Ne激光器(632.8nm) |
可同步测量孔数 |
4孔 |
电源 |
AC220V50HZ |
标配配件 |
气浮减震平台 |
软件部分:
软件名称 |
移相算法(简称PH) |
分析项目 |
透过波前PV值、power值、平行度Tilt值、ttv值、条纹数等 |
测试重复性 |
PV:0.01λ RMS:0.003λ |
测试允许误差 |
PV<1λ时 PV:0.05λ Tilt:0.2fr(零场调整为1根条纹) 1λ<PV<2λ时 PV:0.1λ Tilt:0.5fr(零场调整为1根条纹) |
测试时间 |
1.5秒 |
二、仪器特点
1、可同步测量四摄像孔
双摄、三摄甚至四摄逐渐成为手机摄像的标配,传统的小视场干涉仪每次只能测量一个摄像孔,效率低下;而大视场干涉仪虽然可以显示多个摄像孔,但分辨率不足,不能胜任大像差摄像孔的测量。
G30HD便针对该特殊需求而设计,可以同时满足最多四摄像孔的同步测量。
仪器可同步测量四摄像孔的PV、power、条纹数等数值,并同步给出OK/NG的总体评价:
2、可满足大像差摄像孔的测量
在具备大视场的同时,仪器具备足够高的分辨率。下表为G30HD与G10可准确测量的像差对比:
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|
G30HD |
G10U-PH |
3mm口径(前置摄像孔典型值) |
条纹数 |
30fr |
20fr |
PV(背景零场测试值) |
1.5λ |
1λ |
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6mm口径(后置摄像孔典型值) |
条纹数 |
60fr |
40fr |
PV(背景零场测试值) |
3λ |
2λ |
注:PV(背景零场测试值)为背景调整为零条纹时,直接测量所得的PV值。
G30HD足够胜任后置摄像孔与2.5D前置摄像孔的测量。
3、光源为进口He-Ne激光器(波长632.8nm)
He-Ne激光器相比半导体激光相比有如下优点:相干性稳定、优良,干涉图的对比度及清晰度更高,且寿命很长(一般可达到2万小时以上)。半导体激光器随温度变化产生的温飘会使干涉条纹的对比度、清晰度周期性变差,对数字化测量有很大影响;且寿命较短,易被静电损伤。
4、标配气浮减震平台
仪器标配气浮减震平台,即使在环境恶劣的生产现场亦可以保证稳定、可靠的测试。
5、后续可升级自动化测试方案
仪器可通过串口与自动化设备进行通讯。且进口He-Ne激光器与气浮减震平台的使用,使仪器可以在无人干预的情况下,保证稳定、可靠的测试,后续可升级自动化测试。